2025年3月21日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收跌1.80%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流出3053.09万元，居可比基金首位。

       拉长时间看，该基金近2天主力资金加速流出，合计流出4967.85万元，居可比基金首位。

       与此同时，该基金最新成交量为1.52亿份，最新成交额达1.59亿元，当日主力资金净流出成交额占比达19.17%。

       半导体设备材料ETF（159516.SZ），场外联接(A类：019632；C类：019633）。