转自:河北省科学技术厅
近日,由河北大学牵头申报的“第四代半导体材料AlScN”项目,成功获批2024年国家重点研发计划“颠覆性技术创新”重点专项。该专项旨在面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康找方向、找问题,面向世界科技前沿找方法、找答案,开放式选拔、体系化培育战略价值突出、技术突破显著的颠覆性技术,对主流技术进行跨越式革新或对“无人区”进行开创性探索,抢先机、开赛道、占高地,催生新产业、新模式、新动能,发展新质生产力。
作为全球新兴的半导体关键材料,掺钪氮化铝(AlScN)因其优异的极化特性和宽禁带特性,成为新一代高频高功率电子器件的核心材料。该项目的实施,将重点攻克高质量外延生长、界面优化、极限加工工艺等关键技术瓶颈,推进新型半导体制造设备的自主研发,实现AlScN材料及器件的自主可控,填补国内空白,构建从基础研究到核心技术突破的全链条创新体系,促进区域科技资源深度融合,为推动我国半导体产业自主创新,增强全球市场竞争力提供有力支撑。