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必创科技:GL­O­R­IA-X450A氙灯光源发布,可用于紫外光刻胶涂覆,但不适用于半导体量产所需波长范围

投资者提问:

子公司卓立汉光公众号上发布卓立·新品 | GL­O­R­IA-X450A清曜450W氙灯光源,看到应用领域有半导体光刻,请问这个属实吗?可以应用于半导体光刻吗?

董秘回答(必创科技SZ300667):

您好!您提及的新品发布属实。该氙灯光源可输出紫外光,用于紫外敏感光刻胶涂覆部件特定纹路刻蚀成型的工艺,但不能覆盖半导体量产所需DUV和EUV的波长范围,不能用于资本市场普遍关注的高端光刻机光源系统中,敬请广大投资者注意投资风险。感谢您的关注,谢谢!

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