3月26日，截止午间收盘，半导体设备ETF（561980）涨0.08%，报1.310元，成交额1556.87万元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，北方华创截止午盘涨0.39%，中微公司跌0.55%，中芯国际涨0.53%，海光信息跌0.37%，韦尔股份跌0.02%，华海清科跌0.41%，南大光电涨0.45%，拓荆科技跌0.47%，长川科技涨0.47%，中科飞测跌1.64%。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为30.81%，近一个月回报为-8.10%。

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