3月21日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌1.70%，报1.039元，成交额7641.91万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘跌2.90%，中微公司跌1.31%，沪硅产业跌2.31%，华海清科涨0.75%，南大光电跌1.88%，拓荆科技跌0.72%，长川科技跌1.77%，TCL科技跌2.14%，鼎龙股份跌1.58%，中科飞测跌4.29%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为5.78%，近一个月回报为-3.02%。

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