3月10日，半导体设备ETF（561980）跌0.92%，成交额4973.91万元。当日份额增加100.00万份，最新份额为5.73亿份，近20个交易日份额减少1.06亿份。最新资产净值计算值为8.04亿元。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为苏燕青，成立（2023-08-21）以来回报为40.34%，近一个月回报为7.35%。

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