3月6日，截止午间收盘，半导体设备ETF基金（159327）涨4.20%，报1.340元，成交额1262.23万元。半导体设备ETF基金（159327）重仓股方面，北方华创截止午盘涨7.08%，中微公司涨6.70%，沪硅产业涨0.00%，华海清科涨4.98%，南大光电涨1.68%，拓荆科技涨12.10%，长川科技涨2.90%，TCL科技涨0.63%，中科飞测涨9.98%，鼎龙股份涨1.54%。

半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为贺方舟，成立（2024-07-24）以来回报为28.65%，近一个月回报为10.37%。

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