3月6日，半导体材料ETF（562590）开盘涨0.96%，报1.158元。半导体材料ETF（562590）重仓股方面，北方华创开盘涨3.12%，中微公司涨2.61%，沪硅产业跌100.00%，华海清科涨2.67%，南大光电涨0.39%，拓荆科技涨5.82%，长川科技涨0.76%，TCL科技涨0.42%，中科飞测涨1.90%，鼎龙股份涨0.38%。

半导体材料ETF（562590）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华夏基金管理有限公司，基金经理为单宽之，成立（2023-10-09）以来回报为14.35%，近一个月回报为10.46%。

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