3月19日，半导体设备ETF基金（159327）开盘涨1.09%，报1.299元。半导体设备ETF基金（159327）重仓股方面，北方华创开盘跌0.61%，中微公司跌0.56%，沪硅产业跌0.05%，华海清科跌0.87%，南大光电跌0.27%，拓荆科技跌0.57%，长川科技涨0.02%，TCL科技涨0.21%，中科飞测涨0.09%，鼎龙股份跌0.04%。

半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为贺方舟，成立（2024-07-24）以来回报为28.52%，近一个月回报为4.62%。

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