3月17日，半导体设备ETF（159516）跌0.18%，成交额1.20亿元。当日份额增加3300.00万份，最新份额为20.25亿份，近20个交易日份额增加1.45亿份。最新资产净值计算值为21.92亿元。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为8.25%，近一个月回报为4.13%。

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