半导体 设备延续回调， 半导体设备 ETF（159516）跌超1%，连续5日净流入额超2.7亿元。

3 月10 日， 北方华创 、 芯源微 同时公告，沈阳 先进制造 拟将其持有的9.49%全部股份转让给北方华创，交易对价为16.87 亿元；此外，沈阳中科天盛同样计划公开转让其全部的8.41%股份，北方华创将积极通过参与公开挂牌竞买等方式继续增持公司股份，并取得对公司的控制权。

华西证券 表示，北方华创收购芯源微打响行业 并购重组 第一枪，除了与当下支持科技重组的政策大环境有关，一定程度说明国家对于核心Track 环节突破的重视，后续 光刻机 、量检测设备等低国产化率环节都是重点发力方向。

另外，半导体设备马太效应强，海外成熟市场也是几大设备巨头共存，复盘其发展历史均是不断通过收并购完成整合。中长期看中国半导体设备大概率会参考海外市场，一定是少数的龙头企业加部分细分龙头共存的格局，一级或者新进入者难度越来越大。此次北方华创收购芯源微进度较快，时间节点完全超出市场预期，程序从简（申请豁免董事25%的禁售），一定程度提升投资者对硬科技资产整合方向的重视，提升板块情绪。

半导体设备ETF（159516）跟踪中证半导体材料设备主题指数，聚焦半导体上游最卡脖子的设备材料领域，充分受益于国产化替代红利。此外，随着AI、 物联网 、 新能源 汽车等新兴领域的快速发展，半导体设备需求将持续增长，进一步凸显该ETF的长期投资价值。