3月6日，芯片设备ETF（560780）涨3.72%，成交额1962.37万元。当日份额减少300.00万份，最新份额为1.55亿份，近20个交易日份额减少3800.00万份。最新资产净值计算值为1.91亿元。

芯片设备ETF（560780）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为广发基金管理有限公司，基金经理为夏浩洋，成立（2023-12-01）以来回报为22.96%，近一个月回报为8.71%。

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